Ion implantation science and technology/
Enregistré dans:
| Format: | Livre |
|---|---|
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Orlando, Fla.:
Academic Pr.,
1984.
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| Sujets: | |
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| Description: | Includes bibliographical reference and index |
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| Description matérielle: | xi, 635p.: ill., tables; 23cm. |
| ISBN: | 0127806202 |