Ion implantation science and technology/
Salvato in:
| Natura: | Libro |
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| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Orlando, Fla.:
Academic Pr.,
1984.
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| Soggetti: | |
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| Descrizione del documento: | Includes bibliographical reference and index |
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| Descrizione fisica: | xi, 635p.: ill., tables; 23cm. |
| ISBN: | 0127806202 |