Ion implantation science and technology/

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Формат: Книга
Мова:Англійська
Опубліковано: Orlando, Fla.: Academic Pr., 1984.
Предмети:
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Опис
Опис примірника:Includes bibliographical reference and index
Фізичний опис:xi, 635p.: ill., tables; 23cm.
ISBN:0127806202