Elliott, . D. J. (1968). Microlithography: Process technology for 10 fabrication. Mc graw Hill.
Citace podle Chicago (17th ed.)Elliott, David J. Microlithography: Process Technology for 10 Fabrication. New York: Mc graw Hill, 1968.
Citace podle MLA (9th ed.)Elliott, David J. Microlithography: Process Technology for 10 Fabrication. Mc graw Hill, 1968.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..