Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Elliott, David J.
Médium: Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: New York : Mc graw Hill , C 1968.
Témata:
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
Popis
Fyzický popis:xix , 378p. : ill. ; 24cm .
Bibliografie:Includes bibliographical references ,index & tables .
ISBN:0070193045