Microlithography : Process technology for 10 fabrication /
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
New York :
Mc graw Hill ,
C 1968.
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| Materias: | |
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| Descripción Física: | xix , 378p. : ill. ; 24cm . |
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| Bibliografía: | Includes bibliographical references ,index & tables . |
| ISBN: | 0070193045 |