Microlithography : Process technology for 10 fabrication /
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Formatua: | Liburua |
| Hizkuntza: | ingelesa |
| Argitaratua: |
New York :
Mc graw Hill ,
C 1968.
|
| Gaiak: | |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|
| Deskribapen fisikoa: | xix , 378p. : ill. ; 24cm . |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references ,index & tables . |
| ISBN: | 0070193045 |