Microlithography : Process technology for 10 fabrication /
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
New York :
Mc graw Hill ,
C 1968.
|
| Aiheet: | |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
| Ulkoasu: | xix , 378p. : ill. ; 24cm . |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references ,index & tables . |
| ISBN: | 0070193045 |