Microlithography : Process technology for 10 fabrication /
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| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
New York :
Mc graw Hill ,
C 1968.
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| Soggetti: | |
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| Descrizione fisica: | xix , 378p. : ill. ; 24cm . |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references ,index & tables . |
| ISBN: | 0070193045 |