Microlithography : Process technology for 10 fabrication /
保存先:
| 第一著者: | |
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| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
New York :
Mc graw Hill ,
C 1968.
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| 主題: | |
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| 物理的記述: | xix , 378p. : ill. ; 24cm . |
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| 書誌: | Includes bibliographical references ,index & tables . |
| ISBN: | 0070193045 |