Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

-д хадгалсан:
Номзүйн дэлгэрэнгүй
Үндсэн зохиолч: Elliott, David J.
Формат: Ном
Хэл сонгох:англи
Хэвлэсэн: New York : Mc graw Hill , C 1968.
Нөхцлүүд:
Шошгууд: Шошго нэмэх
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!
Тодорхойлолт
Биет тодорхойлолт:xix , 378p. : ill. ; 24cm .
Номзүй:Includes bibliographical references ,index & tables .
ISBN:0070193045