Microlithography : Process technology for 10 fabrication /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
New York :
Mc graw Hill ,
C 1968.
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| Assuntos: | |
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| Descrição Física: | xix , 378p. : ill. ; 24cm . |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references ,index & tables . |
| ISBN: | 0070193045 |