Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

Furkejuvvon:
Bibliográfalaš dieđut
Váldodahkki: Elliott, David J.
Materiálatiipa: Girji
Giella:eaŋgalasgiella
Almmustuhtton: New York : Mc graw Hill , C 1968.
Fáttát:
Fáddágilkorat: Lasit fáddágilkoriid
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!
Govvádus
Olgguldas hápmi:xix , 378p. : ill. ; 24cm .
Bibliografiija:Includes bibliographical references ,index & tables .
ISBN:0070193045