Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

Shranjeno v:
Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor: Elliott, David J.
Format: Knjiga
Jezik:angleščina
Izdano: New York : Mc graw Hill , C 1968.
Teme:
Oznake: Označite
Brez oznak, prvi označite!
Opis
Fizični opis:xix , 378p. : ill. ; 24cm .
Bibliografija:Includes bibliographical references ,index & tables .
ISBN:0070193045