Microlithography : Process technology for 10 fabrication /
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
New York :
Mc graw Hill ,
C 1968.
|
| Предмети: | |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Фізичний опис: | xix , 378p. : ill. ; 24cm . |
|---|---|
| Бібліографія: | Includes bibliographical references ,index & tables . |
| ISBN: | 0070193045 |