Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Elliott, David J.
Ձևաչափ: Գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: New York : Mc graw Hill , C 1968.
Խորագրեր:
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!

MARC

LEADER 00000nam a22000007a 4500
001 79434
003 BD-SaJUCL
005 20260408112117.0
008 260408b |||||||| |||| 00| 0 eng d
020 |a 0070193045 
040 |a BD-SaJUCL  |c BD-SaJUCL  |d BD-SaJUCL 
082 |a 621.38173  |b E46m 
100 |a Elliott, David J.   |9 51794 
245 |a Microlithography : Process technology for 10 fabrication /   |c  David J. Elliott .  
260 |a New York :   |b Mc graw Hill ,   |c C 1968.  
300 |a xix , 378p. : ill. ;   |c 24cm .  
504 |a Includes bibliographical references ,index & tables .  
650 |a Integrated circuits very large integration   |9 51795 
650 |a Microelectronics   |9 51796 
650 |a Integrated circuits .   |9 51797 
942 |2 ddc  |c BK  |n 1 
999 |c 79434  |d 79428