Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Elliott, David J.
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	New York : Mc graw Hill , C 1968.
Schlagworte:	Integrated circuits very large integration Microelectronics Integrated circuits .
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Bestandsangaben von UL
Signatur:	621.38173 E46m
Exemplar 1968	Not For Loan