Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Elliott, David J.
Formato:	Libro
Lenguaje:	inglés
Publicado:	New York : Mc graw Hill , C 1968.
Materias:	Integrated circuits very large integration Microelectronics Integrated circuits .
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Detalle de Existencias desde UL
Número de Clasificación:	621.38173 E46m
Copia 1968	Not For Loan