Microlithography : Process technology for 10 fabrication /

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	Elliott, David J.
Format:	Livre
Langue:	anglais
Publié:	New York : Mc graw Hill , C 1968.
Sujets:	Integrated circuits very large integration Microelectronics Integrated circuits .
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UL

Informations d'exemplaires de UL
Cote:	621.38173 E46m
Exemplaire 1968	Not For Loan