Hilleringmann, U. (2023). Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices (1st ed. 2023.). Springer Fachmedien Wiesbaden : Imprint: Springer Vieweg. https://doi.org/10.1007/978-3-658-41041-4
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Hilleringmann, Ulrich. Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices. 1st ed. 2023. Wiesbaden: Springer Fachmedien Wiesbaden : Imprint: Springer Vieweg, 2023. https://doi.org/10.1007/978-3-658-41041-4.
Цитирование MLA (9-е изд.)Hilleringmann, Ulrich. Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices. 1st ed. 2023. Springer Fachmedien Wiesbaden : Imprint: Springer Vieweg, 2023. https://doi.org/10.1007/978-3-658-41041-4.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.