Handbook of thin film deposition : theory, technology and semiconductor applications /
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| Outros Autores: | , |
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| Formato: | Recurso Eletrônico livro eletrônico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Amsterdam :
Elsevier,
[2025]
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| Edição: | Fifth edition. |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | ScienceDirect |
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| Descrição do item: | Includes index. |
|---|---|
| Descrição Física: | 1 online resource (xix, 517 pages) : illustrations |
| ISBN: | 9780443135248 044313524X 9780443135231 0443135231 |