Handbook of thin film deposition : theory, technology and semiconductor applications /
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| Altri autori: | , |
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| Natura: | Elettronico eBook |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Amsterdam :
Elsevier,
[2025]
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| Edizione: | Fifth edition. |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | ScienceDirect |
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