Fundamentals of Vacuum Science and System Design for High and Ultrahigh Vacuum. Volume 1, Vacuum and thin-film deposition technologies.
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| Formato: | Recurso Electrónico livro electrónico |
|---|---|
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Elsevier
2024
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | ScienceDirect |
| Tags: |
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