CMOS Plasma and Process Damage
This book discusses the complex technology of building CMOS computer chips and covers some of the unusual problems that can occur during chip manufacturing. Readers will learn how plasma and process damage results from the high-energy processes that are used in chip manufacturing, causing harm to th...
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Recurso Electrónico livro electrónico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Cham :
Springer Nature Switzerland : Imprint: Springer,
2025.
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| Edição: | 1st ed. 2025. |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://doi.org/10.1007/978-3-031-89029-1 |
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